Antarmuka antara silikon dan silika. Bubuk silikon dengan kemurnian tinggi memiliki sifat antarmuka yang baik. Dibandingkan dengan antarmuka bahan semikonduktor lain yang berhubungan dengan lapisan oksida, antarmuka antara silikon dan silikon dioksida sempurna. Dengan berkembangnya teknologi, pengendalian cacat antarmuka menjadi semakin baik. Misalnya, setelah renovasi ruang bersih, dampak cacat sangat rendah. Pada saat yang sama, ketika kotoran diinjeksikan, silikon dioksida dapat berfungsi sebagai lapisan pelindung, yang secara efektif memblokir kotoran seperti fosfor dan boron.

Yang kedua adalah bubuk silikon dengan kemurnian tinggi adalah bahan isolator yang sangat stabil (celah energinya sekitar 9ev, saya tidak tahu apakah saya mengingatnya dengan benar), sedangkan germanium dioksida tidak hanya tidak stabil pada suhu tinggi, tetapi juga larut dalam air. Silikon dioksida tidak memiliki masalah sama sekali; Kesenjangan energi silikon dioksida yang besar akan membuat arus bocornya lebih kecil (tentu saja, jika lapisan oksida terlalu tipis, arus bocor akan meningkat).

Dibandingkan dengan germanium, bubuk silikon dengan kemurnian tinggi memiliki kesenjangan energi yang lebih besar sehingga dapat menahan suhu pengoperasian yang lebih tinggi dan rentang doping pengotor yang lebih luas. Tegangan tembus bahan silikon juga akan lebih tinggi. Dahulu, perangkat semikonduktor semuanya terbuat dari germanium. Teknologinya sudah matang dan kecepatan respons peralihan lebih cepat. Namun hal ini memerlukan biaya yang tidak sedikit. Kapitalis memilih silikon, sehingga banyak ilmuwan mulai membuat terobosan di bidang silikon. Tentu saja hal ini terkait dengan banyaknya keunggulan silikon itu sendiri, seperti cadangan yang besar dan kinerja yang stabil. Keunggulan lainnya adalah silika merupakan isolator alami dan dapat digunakan langsung sebagai interlayer setelah perlakuan panas.

Bubuk silikon dengan kemurnian tinggi dengan kandungan silikon 99% (2N), 99,9% (3N), 99,99% (4N) dan pengotor oksigen, karbon, fosfor, belerang, dan logam yang sangat rendah, yang dapat memenuhi kebutuhan proses industri dengan tinggi persyaratan pengotor. kebutuhan, mengisi kesenjangan di bidang bubuk silikon industri dengan kemurnian tinggi dalam negeri. Paduan aluminium, paduan titanium, paduan tembaga, silikon nitrida berkinerja tinggi, dan karbon...








