Henry Edin St. Clair Deville dan Friedrich Wöhler pertama kali melaporkan sintesis silikon nitrida pada tahun 1857. Dalam metode sintesis yang mereka laporkan, silikon yang mengandung wadah dikubur dalam wadah yang diisi dengan karbon dan dipanaskan untuk mengurangi infiltrasi oksigen. Mereka melaporkan produk yang mereka sebut silikon nitrida, tetapi mereka gagal mencari tahu komposisi kimianya. Pada tahun 1879, silikon campuran Paul Schuetzenberger dengan lapisan (pasta yang dapat digunakan sebagai lapisan wadah, diperoleh dengan mencampur arang, batu bara atau coke dengan tanah liat) dan memanaskannya dalam tungku ledakan, dan melaporkannya sebagai senyawa dengan komposisi Si3N4. Pada tahun 1910, Ludwig Weiss dan Theodor Engelhardt silikon yang dipanaskan dalam nitrogen murni untuk mendapatkan Si3N4. Pada tahun 1925, Friederich dan Sittig menggunakan reduksi karbotermal untuk silikon panas dioksida dan karbon menjadi 1250-1300 derajat dalam atmosfer nitrogen untuk mensintesis silikon nitrida silikon.
Silikon nitrida tidak dianggap serius dan dipelajari selama beberapa dekade sampai aplikasi komersial silikon nitrida muncul. Dari tahun 1948 hingga 1952, Acheson's Diamond Company dekat Niagara Falls, New York, mendaftarkan beberapa paten untuk pembuatan dan penggunaan silikon nitrida. Pada tahun 1958, silikon nitrida yang diproduksi oleh Union carbide digunakan untuk membuat tabung termokopel, nozel roket, dan cawan untuk melelehkan logam. Penelitian tentang silikon nitrida di Inggris dimulai pada tahun 1953 dengan tujuan membuat bagian suhu tinggi untuk turbin gas. Hal ini menyebabkan pengembangan nitrida silikon terikat dan nitrida silikon panas. Pada tahun 1971, Badan Proyek Penelitian Lanjutan Pertahanan di bawah Departemen Pertahanan AS menandatangani kontrak $ 17 juta dengan Ford dan Westinghouse untuk mengembangkan dua turbin gas keramik.
Meskipun sifat -sifat silikon nitrida telah lama diketahui, silikon nitrida (ukuran sekitar 2 × 5μm) yang ada secara alami di bumi tidak ditemukan sampai tahun 1990 -an dalam meteorit. Jenis bijih nitrida silikon yang ditemukan di alam ini bernama "Nierite" untuk menghormati Alfred Otto Carl Nier, pelopor dalam penelitian spektrometri massa. Namun, ada bukti bahwa jenis bijih nitrida silikon ini mungkin telah ditemukan dalam meteorit di Azerbaijan, bekas Uni Soviet, sebelumnya. Meteorit yang mengandung mineral silikon nitrida juga telah ditemukan di Provinsi Guizhou, Cina. Selain ada di meteorit di bumi, silikon nitrida juga didistribusikan dalam debu kosmik di luar angkasa.
